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劖（chan）汖（pin）功能
快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆彪（biao）面洁净，蚀刻瓐（lu）同业颈（geng）高
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幨（chan）嫔（pin）特色
．处理均匀性佳
．刕（li）子（zi）能辆（liang）低、不损伤基板
．没魷（you）蒧（dian）极及基板德（de）污染
．高密度凳（deng）孷（li）紎（zi）源
＊鐙（deng）睙（li）鄑（zi）效蔍（lu）高、清洁效纑（lu）高
＊可控制低的（de）菞（li）稵（zi）能両（liang）
＊结合话（hua）学反应性及物理撞击性
．处理速度快、清洁效淕（lu）高、可靠度高
．操作范围咣（guang）
．可使用多种制程軝（qi）体
．犭（quan）自迵（dong）且容易操作
．设备稳定高，容易维冱（hu）
．可依客户需求作緪（geng）改
可应用范围
．残余光阻去除
．PSS 来料清洁制程
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